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氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識
更新時間:2018-01-24 點擊次數(shù):2695
   氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
  氦質(zhì)譜檢漏儀的進展:
  經(jīng)過近半個世紀的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
  集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
 ?。?)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
 ?。?)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
 ?。?)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
 ?。?)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
 ?。?)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
  氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識
 ?。?)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);
 ?。?)電磁閥組的超聲清洗;
  (3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。
  氦質(zhì)譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設備內(nèi)芯的制造借鑒*技術(shù),整機設置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高,反應快,開機時間短等特點。檢漏效果達到*水平。

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